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S neox 3D光学轮廓仪
S neox 3D光学轮廓仪
产品规格

新型Sneox在性能、功能、效率和设计方面优于现有的3D光学轮廓仪,是Sensofar 的新一代高端测量系统。

性能与优点

连接相邻表面以测量大于90°的角度

测量包含陡角的复杂曲面非常困难因为阴影效应会阻止您在单次采集中获得完整的测量结果。有必要倾斜样品以便从两个不同的位置测量样品并将两个形貌结果组合以获得完整的测量结果。

自由度,测量无限制

通过自动化程序,只需单击一下即可测量样品的不同部分。友好的用户界面允许您在没有任何约束的情况下找到测量位置。然后关注样品的关键部分并将其添加到自动化例程中。最后点击”获取”,只需单击一下即可获得所有测量部件。这是一种自动化测量程序的快速简便方法。     

准确可靠的表面光洁度测量

我们的共聚焦和干涉测量技术允许您测量具有任何级别的粗糙表面,从极粗糙(典金刚石或镜面)。根据NPL、NIST和PTB 使用共聚焦技术和高数值 粗糙度标准,将我们的系统转换为重复且 可追溯的系统。Ai多焦面叠加技术使系统 的切削刃半径。 
对测量大坡度提供了快速、简便地响应。                   

非接触评定
S neox 秉持了起初的设计目标,作为一台具有高性能的3D 光学轮廓仪,超越了现有的一切光学轮廓仪。S neox 结合了三大技术--共聚焦(最适用于高斜率表面)、干涉(能提供最高的垂直分辨率)和Ai多焦面叠加(在短短几秒内测量形态特征),将三大技术集成于同一传感器头中,且不采用任何移动部件。

系统规格

测量原理:共聚焦,PSI,ePS,CS,AI多焦面叠加和膜厚

观察模式:明场,DIC彩色,共聚焦,干涉相位对比

相机:5Mpx:2448x2048像素(最高可达180fps)

总放大倍数:60X-21600X(27英寸显示器)

显示分辨率:0.001nm

视场:0.113到16.8mm(单视场)

台阶重复性:60.1%

台阶精度:60.5%

一般垂直扫描范围:线性平台:40mm;5nm分辨率

精细垂直扫描范围:PZT:200pm;0.5nm分辨率

最大Z测量范围:PSI20pm;CS110mm;共聚焦&Ai多焦面叠加34mm

XY平台范围:手动:40x40mm;电动:114x75 mm,154x154mm,255x215 mm,302302mm

LED光源:红(630nm);绿(530nm);蓝(460nm)和白(575nm)

最大拼接张数:10x12(高分辨率);175x175(500 Mpx)

物镜转盘:6孔电动样品

反射率:0.05%到 100%

样品重量:高达25Kg

样品高度:40mm(标准支架);150mm和350mm(选件)

SENSOFAR是一家尖端科技企业,在形貌计量领域坚持采用最高的质量标准
Sensofar Metrology提供基于共聚焦、多焦面叠加和干涉技术的高精度光学轮廓仪,提供用于研发和质量检测实验室的标准系统到用于在线生产过程的完整非接触式计量解决方案。Sensofar集团总部位于巴塞罗那,也是欧洲的技术和创新中心。集团通过基于战略性分布的合作伙伴构成的全球网络在超过30个国家设有代表处并在亚洲、德国和美国拥有办事处。

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