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D9650 C-SAM 超声波扫描显微镜
D9650 C-SAM 超声波扫描显微镜
产品规格

D9650是现代超声波显微镜(AM)的标准,和上一代产品一样提供了较好的精度和稳健性,增加了一个合并了PolyGate技术和Sonolytics的改进型的电子与软件平台。D9650适用于故障分析、工艺开发、材料特性描述及低容量生产环境。

性能与优点

特点和优势

  • 带有Multi-Gate及Probing-Gate 功能的PolyGate 技术,可以进行单一及多层自动聚焦成像
  • 每频道多达100个Gates
  • Windows10Sonolvtics2界面,64字节处理能力
  • 线性马达扫描仪可扫描JEDEC托盘
  • 带有塔式安装扫描参考平台及样品定位架,更加精准
  • 方便使用扫描区域使安装、拆卸更加方便,可以扫描JEDEC托盘或300mm晶圆片
  • 定量的B-Scan是Sonoscan独有的分析模式(Q-BAM)
  • BScan模式提供了虑拟横截面视图并带有准确的极性、幅值和深度数据
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